열 도가니에 의한 고성능 진공 용해 금속 증착 장비, CsI 진공 금속화기
키워드 : 고해상도, CsI : T1 ; 가는 신틸레이터 영화 ; X-선 영상화 ; 진공 증착법, 탄소 층 후증착
X선 영상연출 장치를 위한 CsI 박막 증착은 이미지화의 고급 품질을 주기 위해 화면에 CsI를 증발시키기 위해 선진 기술입니다. 또한 넓게 보안검사와 사찰에서 사용되는 그것의 높은 해상도 성능,고 에너지 물리학 과목, 원자력 지역 기타 등등의 물리학으로.
RTEP0913 열 증착 코팅 시스템은 고진공 압력 분위기에서 X-선 영상화 위의 탄화규소 필름 증착을 위해 개발되었습니다. 두께에서 2 μm에서 14 μm의 범위인 CsI T1 신틸레이터. 탄소 레이어막은 고해상도를 향상시키기 위해 후증착으로 간주될 수 있습니다.
세슘 요오드화물 (CsI T1) 진공 피착 성능과 특성화
타이핑하세요 :
L 수직 방향, 실린더, 1개 문, 전방 개구.
설계 특성 :
L 초고속 최종 진공 압력 : 9.0*10-5 Pa까지 ;
L는 좋은 접착력을 위한 난기운전 장치를 금식시킵니다 ;
위험 물질을 피하기 위한 L 적절한 고진공 펌프 선정과 펌핑계는 공기에서 노출됩니다 ;
L 강건하고 소형이고 단단한 코팅 시스템 ;
멈추지 않고 960 하스로 일한 L 고안정성.
막두께 인라인을 모니터링하기 위한 L 인피콘 막두께 컨트롤러 장치.
L 독점적으로 도가니는 설계합니다고 CsI 기탁 로 선택.
L 기판 코팅, 최대. 사이즈 : 500*500mm
L 진보적 선반 설계 개념은 뱃치마다 2 부분 기판을 로딩하고 대단히 생산 산출량을 강화할 수 있습니다.
기술적 요구 :
L 성능
1. 최종 진공 압력 : 9.0*10-5 Pa보다 더 좋습니다 ;
2. 진공압을 운영하는 것 : 6.0*10-4 Pa ~9.0*10-4 Pa ;
기본 진공 압력 : 3.0*10-4 Pa
3. 한가한 시간 노력하는 것 : 1 atm에서 2.0×10-3 Pa≤25 분 (실온, 마르고 깨끗하고 비어 있는 챔버)
4. 증착 소스 : 석영 도가니 열 증착
5. 운영 모델 : 매우 자동적으로 /Semi-Auto/ 손으로
6. 가열되는 것 : 실온에서 최대까지!. 1000C,
TFT 글래스 기판이 업 타임 가열됩니다 : 0~250C로부터<40mins>
7. CsI 증착 속도 : 0~100nm/sec
8. CsI : T1 막두께 : 600μm까지
L 구조
진공 코팅기기는 아래 목록화된 주요한 완료된 시스템을 포함합니다 :
1. 진공 챔버
1.1 분류하세요 : 내경 900 밀리미터
내부 높이 : 1300 밀리미터
1.2 재료 : 진공 챔버 SUS304
문과 플랜지 SUS304
챔버는 구조를 강화합니다 : 색칠한 마감면 처리로, SS41 연강.
색칠한 마감면 처리와 챔버 샤시 SS41 연강.
1.3 증착 테이프 : SUS304
1.4 뷰 윈도우 : 챔버 도어에
1.5 (사일런서를 포함하여) 진공 챔버 배기 밸브
1.6 문 : SUS304 재료
2. 진공 펌프 장치를 거칠거칠하게 하는 것 :
오일 로터리 베인 진공 펌프 + 루츠 펌프 (독일 파이퍼)
3. 높은 진공 펌프 장치 :
마그네틱 서스펜션 분자 펌프 (독일 파이퍼)
4. 전기 제어와 운영 시스템 PLC+ 터치 스크린
4.1 기간 회로 : 없음 퓨즈 개폐기 스위치, 전자 개폐기, C/T는 연속하여 타이핑합니다
4.2 증발력
4.3 증발 제어 시스템
4.4 운영 시스템 : 터치 스크린 + PLC, 처방 통제와 데이터 로깅, 자동 종료, 자동차 대피, 자동차 코팅
4.5 측정 장치
진공압 : 진공 게이지 : 피라니 + 페닝 진공계 + 전체 범위 진공 게이지
체온 측정기 : 열전대
막두께 제어기 : 인피콘 브랜드, SQC-310
4.6 경보 시스템 : 압축 공기 압력, 냉각수 순환량, 오조작
4.7 동력 부하 지표 : 전압 표시부와 로드 전류표시기
5. 증착 시스템
5.1 증착 소스 : 석영 도가니
5.2 피착 물 : CsI, 탄소
6. 서브시스템
6.1 항공 압축된 밸브 제어 시스템
6.2 냉각수 시스템 :수류 파이프와 스위치 밸브 시스템
작업 환경
압축된 공기 : 5~8kg/cm2
냉각수 : 물 유입 온도 : 20~25C, 200 리터 / 분,
물 유입 압력 : 2~3 kg/cm2,
전원 : 65kVA세 3 단계 380V 50Hz(60Hz)는 소비 전력의 평균을 냅니다 : 30KW
설치 영역 : (L*W*H) 3000*200*2300mm
배출 : 기계 펌프를 위한 배출구
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