PVD + PECVD 진공 공술서 기계, 다면체 구조 PVD 장비, 다수 공술서 근원
Multi950 기계 재산:
조밀한 발자국,
표준 모듈 디자인,
가동 가능한,
믿을 수 있는,
8진법 약실,
좋은 접근을 위한 2 문 구조,
PVD + PECVD 과정.
설계 특징:
1. 융통성: 아크와 침을 튀기 음극선, 이온샘 설치 플랜지는 가동 가능한 교환을 위해 표준화됩니다;
2. 다예 다제: 비금속 및 합금의 다양성을 예금할 수 있습니다; 금속과 비 금속 물자 기질에 광학적인 코팅, 단단한 코팅, 연약한 코팅, 합성 영화 및 단단한 기름을 바르는 영화.
3. 똑바른 디자인: 쉬운 정비를 위한 2 문 구조, 정면 & 뒤 오프닝.
Multi950 기계는 연구 및 개발을 위한 주문을 받아서 만들어진 배수 기능 진공 공술서 체계입니다. 교수에 의하여 첸 납을 첨가한 상하이대학교의 팀으로 절반 년의 면담으로, 우리는 마지막으로 디자인 및 그들의 것을 성취하기 위하여 윤곽을 연구 및 개발 신청 확인했습니다. 이 체계는 PECVD 과정을 가진 투명한 DLC 영화, 공구에 단단한 코팅, 및 침을 튀기 음극선을 가진 광학적인 영화를 예금할 수 있습니다. 이 안내하는 기계 설계 개념에 바탕을 두어, 우리는 그 후에 후에 3개의 다른 코팅 체계를 개발했습니다:
1. 연료 전지 전기 차량 FCEV1213를 위한 양극 판 코팅,
2. 세라믹 도금한 구리 DPC1215를 지시하십시오,
3. 가동 가능한 침을 튀기기 체계 RTSP1215.
이 4개의 모형 기계는 8진법 약실에 모두, 가동 가능한이고 믿을 수 있는 성과는 각종 신청에서 광대하게 사용됩니다. 그것은 코팅 과정을 요구합니다 다 다른 금속 층을 만족시킵니다: 알루미늄, 크롬, Cu, Au, Ag, Ni, Sn, SS 및 다른 많은 non-feeromagnetic 금속;
이온샘 단위 플러스, 능률적으로 몇몇을 예금하기 위하여 그것의 플라스마 에칭 성과를 가진 다른 기질 물자에 영화 접착을, PECVD 과정 탄소 근거한 층 강화하거든.
Multi950는 왕 Tech.를 위한 진보된 디자인 코팅 체계의 공정표입니다. 여기에서, 우리 감사 상하이대학교 고맙게 여기는 학생 및 특히 가공 Yigang 첸, 그의 창조 및 무아 봉헌은 무제한 가치이고 우리의 팀을 고무시켰습니다.
년 2018년에서는, 우리는 곁에 기능 촉진 첸, C-60 물자 공술서를 가진 다른 프로젝트 협력이 있었습니다
유도적인 열 증발 방법. 우리는 heartfully 씨와 첸의 교수를 각 혁신적인 프로젝트에 지도 그리고 지시 감사합니다 Yimou 양.
Multi950 - 기술 명세
묘사 | 다 950 |
공술서 약실 (mm) 폭 x 깊이 x Heigh |
1050년 x 950 x 1350년 |
공술서 근원 |
MF 침을 튀기기 음극선의 1개 쌍 |
PECVD의 1개 쌍 | |
8개 세트 아크 음극선 | |
선형 이온샘 | 1 세트 |
플라스마 균등성 지역 (mm) | φ650 x H750 |
회전 목마 | 6 x φ300 |
힘 (KW) |
편견: 1 x 36 |
MF: 1 x 36 | |
PECVD: 1 x36 | |
아크: 8 x 5 | |
이온샘: 1 x 5 | |
가스 통제 시스템 | MFC: 4 + 1 |
난방 장치 | thermalcouple PID 통제와 더불어 500℃, |
높은 진공 게이트 밸브 | 2 |
Turbomolecular 펌프 | 2 x 2000L/S |
뿌리 펌프 | 1개의 x 300L/S |
회전하는 바람개비 펌프 | 1개 x 90 m ³ /h + 1개 x 48 m ³ /h |
발자국 (L x W x H) mm | 3000 * 4000 * 3200 |
총 힘 (KW) | 150 |
왕 기술의 서비스와 기술설계 팀은 고객 지원을, 연락합니다 당신의 신청을 위해 저희에게 현지에서 제공합니다!