보석에 주석 금 코팅, 시계에 24K 실제 금 스퍼터링 증착, 보석 금 PVD 코팅
티타늄 컬러 시트 pvd 코팅 기계 자동차 라이트 진공 코팅 기계
표준 모델은 RTAC1008이며 기계에는 주요 구성이 포함되어 있습니다.
1. 6 세트 cicular 스티어드 아크 캐소드
2. 바이어스 전원 공급 장치
3. 1 세트 애노드 층 이온 소스 유닛(옵션).
4. 안정적인 진공 환경을 위한 터보 분자 펌프가 있는 고진공 펌핑 시스템.
5. 독점적으로 설계된 회전 잭 및 기판 홀더 시스템.
명세서
| 모델 | RTAS1000 | ||||||
| 기술 | 다중 아크 증발 + DC/MF 스퍼터링 음극 | ||||||
| 재료 | 스테인리스강(S304) | ||||||
| 챔버 크기 | Φ1000*H1000mm | ||||||
| 챔버 유형 | 실린더, 수직, 1도어 | ||||||
| 스퍼터링 시스템 | IPG 금, 은 스퍼터링 증착 전용 설계 | ||||||
| 증착 재료 | 알루미늄, 은, 구리, 크롬, 스테인리스강, 니켈, 금, TiAl, Au 합금, Ag 등 |
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| 퇴적물 출처 | 음극 아크 소스 + 평면 실린더 스퍼터링 음극 | ||||||
| 가스 | MFC- 4가지 방법, Ar, N2, O2, C2H2 | ||||||
| 제어 | PLC(프로그래머블 로직 컨트롤러) + | ||||||
| 펌프 시스템 | SV300B - 1세트(레이볼트) | ||||||
| WAU501- 1 세트(레이볼트) | |||||||
| D60T- 1set(레이볼트) | |||||||
| 터보 분자 펌프: 1* F-400/3500 | |||||||
| 전처리 | 바이어스 전원 공급 장치: 1*24 KW | ||||||
| 안전 시스템 | 작업자를 보호하기 위한 다수의 안전 인터록 | ||||||
| 냉각 | 차가운 물 | ||||||
| 전력 전기 | 480V/3상/60HZ(미국 준거) | ||||||
| 460V/3상/50HZ(아시아 준거) | |||||||
| 380V/3상/50HZ(EU-CE 준거) | |||||||
| 발자국 | L3000*W3000*H2000mm | ||||||
| 총 무게 | 7.0T | ||||||
| 발자국 | (L*W*H)4000*3000 *3000 MM | ||||||
| 주기 시간 | 30~40분(기질에 따라 다름, 기판 기하학 및 환경 조건) |
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| 파워맥스.. | 55KW | ||||||
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평균 전력 소비(대략) |
30KW |
금속 시계 및 보석 금도금기 챔버 구조 -RTAC1008-SP
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